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김도현교수, 교육과학기술부장관상 수상
- 반도체 실리콘 기판에 존재하는 나노스케일 결함의 해석 및 전산모사 기술 개발 - 우리학교 생명화학공학과 김도현 교수가 "NANO KOREA 2010" 심포지엄에서 반도체 실리콘 기판내의 나노스케일 결함 해석 기술로 "나노연구혁신부문 교육과학기술부 장관상"을 수상하였다. 김도현 교수는 반도체 회로의 미세화에 따라 나노스케일 결함에 대한 중요성이 커지는 시점에 이를 예측하고 해석할 수 있는 전산모사 기술을 개발한 연구 성과를 인정받았다. 김 교수팀은 원자단위의 해석 모델을 이용하여, 반도체용 실리콘 기판 내 수nm에서 수십nm까지의 결함을 해석하는 모델을 개발하였으며, 이를 통해 실리콘 단결정 성장 공정과 반도체 Fab 공정을 연계해서 기판 내의 결함을 해석할 수 있는 전산모사를 수행함으로써 실제 결함의 생성과 성장거동을 성공적으로 예측하였다. [그림1] 결정성장시 생성되는 산소농도 차이에 의해 발생되는 Nano-void의 분포를 나타내었으며 이를 원자 모델을 이용해서 산소농도에 따른 Nano-void 형성를 예측한 결과 [그림2] 결정성장시 발생한 결함이 반도체 Fab 공정에서 oxygen precipitate로 성장하는 과정을 전산모사를 통해 나타낸 결과 [붙임] 용어 설명 반도체 회로 미세화 : 반도체의 Design rule로 Moore"s law에 의해 반도체의 회로 밀도가 18개월 주기로 2배로 늘어나게 된다. 이러한 밀도의 증가를 위해서는 회로 선폭의 감소와 함께 이에 따른 기판의 요구품질도 지속적으로 높아지게 된다. 결정성장 : 다결정 실리콘을 단결정 실리콘으로 성장시키는 방법으로서, 본 연구는 반도체용으로 많이 사용되고 있는 CZ법 (Czochralski)에 대한 연구다. 결함의 종류 : 결함의 종류에는 void성 결함과 precipitate성 결함이 존재한다. Void 성 결함은 vacancy간의 결합을 통해 형성되며, precipitate성 결함은 주로 oxygen과의 결합으로 발생한다. 결함의 영향 : 반도체 칩을 제작하는 중에 회로 설계 영역 즉 표면에서 수 nm까지의 영역에 결함이 존재하는 경우에는 oxidation 두께의 차이가 발생하여 반도체의 불량을 초래할 수 있다. [그림3] 반도체 수율에 미치는 Grown-in 결함의 영향
2010.08.19
조회수 15553
신성철 부총장 - 국제선도 연구그룹으로 육성
[전자신문 인터뷰] 이사람 (2004.7.28) 러플린 총장과 투톱 맡은 신성철 KAIST 부총장 “한국과학기술원(KAIST)을 학제 복합적인 인력양성의 선도적인 모델로 만들어 갈 것입니다.” 최근 취임식을 가진 로버트 러플린 KAIST 총장과 함께 투톱 체제로 KAIST운영을 내실있게 다져 나갈 책임을 떠맡은 신성철 신임 부총장(52). 그는 “KAIST가 4년 뒤엔 세계를 이끌 국제적인 선도 연구그룹의 모습을 갖출 것으로 기대한다”며 실세다운 나름의 비전을 제시했다. 첫 외국인이자 세계적인 석학을 총장으로 맞은 KAIST의 운영은 러플린 총장의 요구에 따라 크게 둘로 나뉘어 이뤄질 전망이다. KAIST의 도약을 위해 큰 그림을 그리는 역할은 러플린 총장이 맡고 교수 간 협력 등 내치에 해당하는 마이크로 매니지먼트(세부 경영)는 부총장이 총괄하는 ‘투톱 시스템’을 도입하기로 했다. “지난 총장 후보 선출에 나섰다 러플린 총장에 밀린 것에 자존심이 상할 수 있지 않습니까. 그러나 선배교수들로부터 그동안 쌓아온 보직 경험을 최대한 살려 기로에 선 KAIST를 위해 뭔가 책임 있는 일을 해야 하지 않겠느냐는 요청을 많이 받았습니다.” 신 부총장은 “선배 교수들의 말 가운데 ‘스스로 노벨상을 타든지, 후학들이 탈수 있는 대학을 만들라’는 말이 가장 가슴에 와 닿았다”며 “러플린 총장을 도와 KAIST를 세계적인 대학으로 육성하는 데 발벗고 나설 것”이라고 강조했다. 신 부총장은 만약 KAIST가 성공적인 모델로 간다면 기존의 대학들과는 차별화가 많이 이루어질 것으로 내다봤다. “우선 연구적인 측면에서 어느 대학도 시도하지 못한 학제 복합적 인력 양성 시스템을 한층 강화할 방침입니다. 행정체계의 경우는 기획처가 부총장이 관할하는 독특한 운영 시스템이 만들어 질 것입니다.” 신 부총장은 특히 “러플린 총장이 교수로 재직하던 미국 스탠퍼드대학과의 실질협력 교류 강화로 교육 분야 등에 시너지 효과가 엄청날 것”이라고 전망했다. 그러면서도 그는 연구자로서 연구에 대한 나름의 아쉬움이 많이 남는 듯 “그동안 수행해 온 스핀정보물질단 운영과 나노연구에 전력을 다할 수는 없을 지라도 국제적인 수준에 올라 있는데다 세계적인 인지도도 높아 틈나는 대로 챙기고 싶다”는 미련도 드러냈다. “부총장으로서의 역할과 총장 대행역, 또 총장을 모시는 역할 등 1인 3역을 해야하는 과중한 업무가 될 것으로 보고 있지만 러플린 총장의 그림이 제대로 그려지도록 뒷바라지 하는 데 최선을 다할 것입니다.” 국내 학내 사정에 아직은 어두운 러플린 총장의 ‘KAIST 실험’ 성공 여부가 신임총장과 신 부총장의 역할에 따라 판가름날 전망이다. 대전=박희범기자@전자신문, hbpark@etnews.co.kr
2004.07.30
조회수 17627
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