본문 바로가기
대메뉴 바로가기
KAIST
뉴스
유틸열기
홈페이지 통합검색
-
검색
ENGLISH
메뉴 열기
%EA%B9%80%EC%A7%84%EC%88%98
최신순
조회순
5단 수직 적층 반도체 트랜지스터 개발
우리 대학 전기 및 전자공학부 이병현 연구원(지도교수 최양규)과 나노종합기술원(원장 이재영) 강민호 박사가 실리콘 기반의 5단 수직 적층 반도체 트랜지스터를 개발했다. 그리고 반도체 트랜지스터를 이용한 비휘발성 메모리 개발에 성공했다. 이번 연구는 나노 분야 학술지 ‘나노 레터스(Nano letters)’ 11월 6일자 온라인판에 게재됐다. 반도체 트랜지스터 분야는 모든 전자기기의 핵심 구성요소로 국내 산업과 경제 발전에 큰 영향을 끼쳤다. 세계적 추세에 따라 치열한 소형화를 통해 생산성과 성능의 향상을 거듭했으나 최근 10나노미터 시대에 접어들며 제작 공정의 한계 및 누설전류로 인한 전력소모 문제가 커지고 있다. 학계 및 산업계는 문제 해결을 위해 전면-게이트 실리콘 나노선 구조를 개발했다. 이는 누설전류 제어에 가장 효과적인 구조로 저전력 트랜지스터 개발에 이용됐다. 그러나 이 역시 소형화에 따른 나노선 면적 감소로 성능 저하의 한계가 있었다. 연구팀은 전면-게이트 실리콘 나노선을 수직으로 5단으로 쌓아 문제를 해결했다. 이 5단 적층 실리콘 나노선 채널을 보유한 반도체 트랜지스터는 단일 나노선 기반의 트랜지스터보다 5배의 향상된 성능을 보였다. 또한 수직 적층 나노선 구조는 말 그대로 위로 쌓기 때문에 단일 구조와 달리 면적이 증가되지 않아 집적도 향상에도 기여할 수 있다. 나노선 수직 적층은 개발된 ‘일괄 플라즈마 건식 식각 공정’ 방식을 통해 이뤄졌다. 이 공정은 고분자 중합체를 이용해 패턴이 형성될 영역에 미리 보호막을 친 뒤 등방성 건식 식각을 통해 나노선 구조를 형성하는 기술이다. 수직 적층 나노선 구조는 이 기술의 연속 작용을 통해 확보한 결과물이다. 이 기술은 지속적 소형화로 인해 기술적 한계에 부딪힌 반도체 트랜지스터 분야에 새로운 돌파구를 제시할 것으로 기대된다. 관련 연구가 이전부터 진행됐지만 더 간단한 공정기술을 이용해 가장 많은 나노선 채널의 적층에 성공했기 때문에 비용절감 및 제작 시간 단축, 반도체 트랜지스터의 성능 향상으로 인한 상용화 등에 크게 기여할 것으로 예상된다. 연구팀은 건식 식각 공정 기술이 기존 방법보다 간단하고 안정적으로 수직 적층 실리콘나노선 구조 제작을 가능하게 함으로써 고성능 트랜지스터 개발에 응용 가능할 것이라고 밝혔다. 이병현 연구원과 강민호 박사는 “이번 기술 개발은 미래창조 국가 나노기술 인프라 기관 나노종합기술원의 훌륭한 반도체 연구 기반과 김진수 부장 포함 관련 연구진들의 우수한 공정 능력이 뒷받침돼 가능했다”고 소감을 말했다. 이번 연구는 글로벌프론티어사업 스마트IT융합시스템 연구단의 지원을 받아 수행됐다. 연구를 주도한 이병현 연구원은 우리 대학 최양규 교수 지도하에 박사과정을 수행 중이며, 삼성전자 메모리 사업부의 책임 연구원으로 재직 중이다. □ 그림 설명 그림1. 일괄 플라즈마 건식 식각 공정 과정의 모식도. 그림2. 서로 다른 방향에서 단면을 관찰한 주사 전자 현미경 사진 및 투과 전자 현미경 사진
2015.11.24
조회수 10971
사우디 원자력인력양성 프로그램 수료식 개최
우리 학교 KUSTAR-KAIST 교육연구원(원장 장순흥)은 26일 사우디아라비아 리야드에서 ‘2014 KAIST-K.A.CARE 원자력인력양성 교육프로그램’ 수료식을 개최했다. 이날 행사에는 K.A.CARE(사우디 왕립 원자력·신재생에너지원, King Abdullah City for Atomic and Renewable Energy) 하심 압둘라 야마니(Hashem Abdullah Yamani) 원장, 김진수 주 사우디아라비아 대사, 김종용 前 주 사우디아라비아 대사 등이 참석해 총 16명의 수료자들을 축하했다. 우수 수료자 3명에게는 한국 원자력관련기관을 견학할 수 있는 기회가 제공됐다. KAIST는 지난 5일부터 3주간 K.A.CARE 연구원들을 대상으로 원자력기술 교육프로그램을 시작했다. 원자력분야 전반에 걸친 기본 기술을 전하기 위해 기획된 이번 단기 집중강좌에는 기초핵물리부터 방사선 응용, 원자로 설계 및 안전 등 원자력공학 전반에 걸쳐 다양한 분야의 강의가 포함됐다. 이번 프로그램을 통해 KAIST와 사우디아라비아와의 교육 협력이 본격적으로 시작되는 기틀을 마련한 것으로 학계는 평가하고 있다. KUSTAR-KAIST 교육연구원장 장순흥 교수는 “원자력분야에서 KAIST의 오랜 경험과 다양한 전문 인력을 적극 활용해 향후 사우디에 원자력 인력양성 프로그램을 지속적으로 제공할 것“이라고 말했다. K.A.CARE는 원자력 및 신재생 에너지를 본격적으로 활용하기 위해 2010년 4월 사우디아라비아의 국왕령을 통해 설립된 기관이다.
2014.01.28
조회수 14940
<<
첫번째페이지
<
이전 페이지
1
>
다음 페이지
>>
마지막 페이지 1