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김도현교수, 교육과학기술부장관상 수상
- 반도체 실리콘 기판에 존재하는 나노스케일 결함의 해석 및 전산모사 기술 개발 - 우리학교 생명화학공학과 김도현 교수가 "NANO KOREA 2010" 심포지엄에서 반도체 실리콘 기판내의 나노스케일 결함 해석 기술로 "나노연구혁신부문 교육과학기술부 장관상"을 수상하였다. 김도현 교수는 반도체 회로의 미세화에 따라 나노스케일 결함에 대한 중요성이 커지는 시점에 이를 예측하고 해석할 수 있는 전산모사 기술을 개발한 연구 성과를 인정받았다. 김 교수팀은 원자단위의 해석 모델을 이용하여, 반도체용 실리콘 기판 내 수nm에서 수십nm까지의 결함을 해석하는 모델을 개발하였으며, 이를 통해 실리콘 단결정 성장 공정과 반도체 Fab 공정을 연계해서 기판 내의 결함을 해석할 수 있는 전산모사를 수행함으로써 실제 결함의 생성과 성장거동을 성공적으로 예측하였다. [그림1] 결정성장시 생성되는 산소농도 차이에 의해 발생되는 Nano-void의 분포를 나타내었으며 이를 원자 모델을 이용해서 산소농도에 따른 Nano-void 형성를 예측한 결과 [그림2] 결정성장시 발생한 결함이 반도체 Fab 공정에서 oxygen precipitate로 성장하는 과정을 전산모사를 통해 나타낸 결과 [붙임] 용어 설명 반도체 회로 미세화 : 반도체의 Design rule로 Moore"s law에 의해 반도체의 회로 밀도가 18개월 주기로 2배로 늘어나게 된다. 이러한 밀도의 증가를 위해서는 회로 선폭의 감소와 함께 이에 따른 기판의 요구품질도 지속적으로 높아지게 된다. 결정성장 : 다결정 실리콘을 단결정 실리콘으로 성장시키는 방법으로서, 본 연구는 반도체용으로 많이 사용되고 있는 CZ법 (Czochralski)에 대한 연구다. 결함의 종류 : 결함의 종류에는 void성 결함과 precipitate성 결함이 존재한다. Void 성 결함은 vacancy간의 결합을 통해 형성되며, precipitate성 결함은 주로 oxygen과의 결합으로 발생한다. 결함의 영향 : 반도체 칩을 제작하는 중에 회로 설계 영역 즉 표면에서 수 nm까지의 영역에 결함이 존재하는 경우에는 oxidation 두께의 차이가 발생하여 반도체의 불량을 초래할 수 있다. [그림3] 반도체 수율에 미치는 Grown-in 결함의 영향
2010.08.19
조회수 15660
김도경 교수, 탄화규소 세라믹 신소재의 특성 나타나는 근원 밝혀냈다.
- 美 화학회 나노레터스(Nano Letters)온라인판 최근호 발표- 고성능 세라믹 신소재 개발의 새로운 전기 마련 우리학교 신소재공학과 김도경(金渡炅, 49세, 입학본부장) 교수가 美 UC버클리대 리치(R. O. Ritchie) 교수 연구팀과 공동으로 희토류(비금속 미량원소)가 첨가된 탄화규소 세라믹 신소재에서 나노 스케일(수준, 단위) 인성(靭性, 깨지지 않는 성질)이 나타나는 근본 원인을 밝혀냈다. 金 교수 연구팀의 이번 연구 결과는 나노분야 최고 권위 국제학술지인 미국화학회 발행 "나노 레터스(Nano Letters)" 온라인판 최근호(9월호)에 발표됐다. 초고온에서 작동 가능한 터빈날개의 개발을 위해서는 기존의 초합금보다 훨씬 높은 온도에서 작동 가능한 신소재가 필수적이다. 이 신소재는 차세대 고효율 발전 및 초고속 비행체에 적용이 기대되고 있는데, 지난 30년 동안 질화규소 및 탄화규소 세라믹 신소재가 각국의 연구자들에 의해 지속적으로 연구 개발되고 있다. 이들 신소재의 제작에는 희토류 산화물의 첨가가 필수적인 것으로 알려져 있다. 희토류는 일반적으로 깨지기 쉬운 성질을 나타내는 세라믹 소재의 단점을 보완하여 특별히 높은 인성을 나타낼 수 있게 하며, 이는 신소재의 신뢰성을 높이는데 결정적 기여를 했다. 그러나, 희토류의 인성강화에 대한 궁극적인 근본 원리는 최근까지 미지수로 남아있어 고성능 세라믹 신소재의 발전을 가로 막고 있었다. 金 교수와 리치 교수 연구팀은 고성능 전자현미경내에서 세라믹 내에 나노스케일의 균열을 생성시키는데 성공했으며, 그 균열의 주위를 원자레벨의 이미징기법을 이용하여 원자들의 배열과 화학성분의 분포를 찾아냈다. 이 결과들을 바탕으로 서로 다른 특성을 가진 소재간의 경계인 나노계면에서 균열의 전파를 예측함으로써 세라믹 신소재의 인성이 나타나는 근본원인을 밝히는 성과를 거뒀다. 이 연구결과를 통해 인성이 나타나는 근본원인을 밝혀냈음은 물론이고, 희토류의 종류에 따라서 세라믹 신소재의 인성특성이 다르게 나타나는 현상을 정확히 예측할 수 있게 됨으로써 고성능 세라믹 신소재를 이용한 터빈 날개 개발에의 적용을 보다 앞당길 수 있을 것으로 기대된다. <용어설명>희토류(稀土類, Rare Earth): 지구상에 아주 희귀한 원소로, 화학적으로 매우 안정되면서도 열을 잘 전달하는 성질이 있다. 광학유리·전자제품 등 첨단산업의 소재로 활용된다. 주로 디스플레이 원료와 미사일 유도장치, 화학반응 촉매제에 사용된다.
2008.10.08
조회수 16205
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