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10nm대의 초미세 나노패터닝 新기술 개발
- 나노 레터스 誌 발표, 대면적 10nm대 나노패턴의 실용화 가능성 열어 -
복잡하고 다양한 10nm대의 고분해능 나노패턴을 대면적에 효율적으로 제작할 수 있는 기술이 국내연구진에 의해 개발되었다.
KAIST 정희태 교수가 주도한 이번 연구결과는 나노분야 세계적인 학술지인 ‘나노 레터스(Nano Letters)’에 온라인으로 최근 (8. 17) 게재되었다.
이번 연구는 교육과학기술부(장관 이주호)와 한국연구재단(이사장 박찬모)이 시행하는 ‘세계수준의 연구중심대학(WCU) 육성사업’과 ‘중견연구자지원사업 도약연구’의 지원을 받아 수행되었다.
정희태 교수 연구팀은 차세대 반도체, 디스플레이 및 나노전자 소자개발에 핵심기술인 10nm대의 고분해능 패턴을 원하는 모양과 크기로 쉽게 대면적에 제작할 수 있는 기술을 개발하였다.
연구팀은 전압차를 이용하여 아르곤(Ar) 입자를 가속시켜, 원하는 목적층에 물리적 충격을 줌으로써 목적층의 물질을 제거하는 이온충격(ion-bombardment) 공정 중에서 나타나는 2차 스퍼터링 (secondary sputtering)이라는 현상을 적용하였다.
이 현상은 이온충격(ion-bombardment)으로 물리적 식각을 할 때 목적층의 물질이 다양한 각분포로 이탈하여 마스크 패턴의 옆면에 흡착하는 현상을 이용한 것으로서, 선 모양, 컵 모양, 가운데가 비어있는 실린더(Hole-cylinder) 모양, 삼각 터널(triangle tunnel) 등 다양한 모양을 가지며, 최대 종횡비(high-aspect-ratio) 20까지 높이를 간단하게 제어할 수 있다.
이렇게 제작된 패턴은 웨이퍼, 유리기판, 쿼츠(Quartz), 금속판 뿐만 아니라 PET필름과 같은 플렉서블 기판에서도 공정이 가능하기 때문에 범용적으로 사용되어 질 수 있다.
연구팀은 투명한 쿼츠셀 위에 금 선 패턴을 제작하여 ITO기판을 대체할 수 있을 만큼 높은 성능을 갖는 투명전극을 제작하여 태양전지에 응용함으로써 다양한 광학/전기적 나노소자에 응용할 수 있음을 보였다.
동 연구는 기존의 리소그라피기술로 제작된 패턴의 해상도를 능가하는 10nm급 패턴을 제작할 수 있는 신기술로 거의 모든 금속(금, 은, 알루미륨, 크롬)과 무기물(ZnO, ITO, SiO2)에 적용가능하며, 기존의 패터닝 방법과 비교하여 낮은 공정비용과 간단한 실험공정으로 고해상도 패턴을 대면적에 균일하게 제작할 수 있다는 장점이 있다.
정희태 교수는 “10nm급의 고해상도 미세패턴 제작기술은 미래산업 전반에 걸쳐 매우 중요한 기술군으로, 그동안 나노분야에서 극복해야 할 핵심과제였습니다. 본 연구는 이러한 문제점을 비교적 간단한 방법으로 극복하고 향후 태양광 발전, 반도체 및 바이오소자의 효율증대에 적용가능한 기술”이라고 연구의의를 설명하였다.
2010.09.08
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문화기술대학원, 창작 뮤지컬 ‘나로’ 공연
- 15일~16일, 18일 각각 대전과 포항서 공연 -
- 국내 최초, 세계 초연의 첨단 청소년 영어 창작 뮤지컬 -- 디지털 무대장치와 인터액티브 영상 등을 통해 다양한 볼거리 제공 -
우리학교 문화기술대학원은 개원 5주년 기념행사의 일환으로 우주를 소재로 한 청소년 영어 창작 뮤지컬 ‘나로(NARO)"의 공연을 오는 15일과 16일 대전 KAIST 대강당에서, 9월 18일에는 포항시 경북학생문화회관에서 모두 3차례 공연을 갖는다.
이번 공연은 우주를 테마로 한 뮤지컬로는 국내는 물론 세계 최초다. 문화기술대학원 산하 나다센터(센터장 구본철)가 글로벌 콘텐츠용으로 기획했기 때문에 주인공 ‘나로"를 포함한 청소년 출연진 24명 모두가 영어로 공연을 펼친다.
총 2막으로 구성된 ‘나로’는 우주를 연구하는 천재소년 ‘나로’ 일행이 전갈자리의 ‘해와 달이 된 오누이별’로 시간여행을 하면서 적색거성 안타레스의 대폭발을 통해 오누이별과 지구를 파괴하고 우주를 정복하려는 타이란의 음모를 막아낸다는 내용이다.
이번 공연을 위해 나다센터는 올해 3월 전국의 초등학교 5학년 이상 고등학교 2학년 이하의 청소년을 대상으로 엄격한 선발과정을 거쳐 24명을 선발했다.
선발된 청소년들은 3월부터 9월 초까지 매주 토요일과 일요일 2차례씩 대전 신탄진 인근의 나다센터에 모여 연습에 몰두해왔다. 노래, 춤, 연기 등 모든 과정이 영어로 진행된 ‘나로’는 영어교육은 물론 문화예술과 과학기술이 융합된 대표적 모범 사례다.
‘나로’의 또 다른 특징은 무대장치를 전혀 사용하지 않고 인터액티브(interactive) 영상과 레이저 아트, 직접 제작한 특수 장치 등을 사용해 무대의 첨단화를 시도했다는 점이다.
이밖에 한국의 고유한 설화인 ‘해와 달이 된 오누이’의 서사구조를 차용해 천문학적으로 탄탄한 시나리오가 기반이 됐다. 교육적으로는 청소년들에게 우주에 대한 꿈과 희망을 주는 한국 우주창조론을 재조명 했다는 점에서 주목할 만하다.
문화기술대학원 개원 5주년 기념공연이기도 한 우주 뮤지컬 ‘나로’는 문화기술대학원 구본철 교수가 총감독과 대본, 작곡을, 이민호씨가 연출을 맡았다.
한편, 안무가 정형일씨, 노래지도 제갈영아씨, 반주 김수현씨 등 스탭 외에도 문화기술대학원 학생들이 다수 참여하며 한국천문연구원(원장 박석재), 한국항공우주연구원(원장 이주진), LG 사랑의 다문화학교, SK브로드밴드에서 후원한다.
※ 용어설명
‘인터액티브(interactive) 영상’은 배우 또는 관객의 움직임 또는 여러가지 반응에 따라 영상이 변하는 것으로 주로 센서 또는 카메라를 이용하여 배우나 관객의 움직임을 감지하고 컴퓨터를 이용하여 그에 따라 영상이 조작되는 방법으로 구현됩니다.
2010.09.07
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플렉시블 디스플레이용 개스 배리어 기판기술 개발
- 나노 복합체 개스 배리어 기판 원천기술 확보 -
- 투산소도와 투습도 낮아 식품 포장재에 바로 활용 가능 -
우리학교 물리학과 윤춘섭 교수팀이 금오공과대학 고분자공학과 장진해 교수와 공동으로 플라스틱 기판의 투산소도를 1/1,000로 낮춘 독창적 개념의 플렉시블 디스플레이용 개스 배리어(Gas Barrier) 기판을 개발했다.
이번 성과는 평판형 나노입자를 플라스틱 기판에 분산시킨 후 박리 및 배향시키는 나노 복합체 기판 원천기술 개발을 통해 가능해졌다고 공동연구팀은 밝혔다.
개발된 나노 복합체 기판 기술은 차세대 디스플레이인 플렉시블 유기발광 디스플레이(OLED)의 구현에 필수적인 기계적 고유연성, 저 투습도 및 저 투산소도, 높은 광투과도 조건을 모두 만족시킬 수 있는 획기적인 기판 기술로 평가받고 있다.
현존하는 세계최고 수준의 플렉시블 개스 배리어 기판 기술은 플라스틱 기판위에 유기 고분자 층과 무기물 층을 교차로 증착시킨 다층 박막 구조를 가진다. 이 구조로 인해 기판을 곡률반경이 작게 휘거나 접을 경우 무기층에 균열이 생겨 개스 배리어 기능을 상실한다. 이 때문에 기계적 유연성에 한계를 가질 뿐만 아니라 생산 단가가 높은 문제점을 가지고 있었다.
이번에 윤 교수팀이 개발한 나노 복합체 기판 기술은 기판의 골격을 형성하고 있는 유기 고분자가 유연성을 담당하고, 평판형 나노입자가 개스 배리어 기능을 담당한다. 그로 인해 높은 기계적 유연성과 개스 배리어 특성을 동시에 확보할 수 있고 롤투롤(Roll to Roll) 공정이 가능해 생산 단가를 낮출 수 있는 장점이 있다.
플렉시블 디스플레이는 차세대 디스플레이로 각광받고 있으며, 미국을 위시한 일본, 영국, 독일 등 IT 선진국에서는 플렉시블 디스플레이를 모바일 통신기기용 접는 디스플레이, 입는 디스플레이, 디지털 광고판, 스마트 카드, 군복 소매에 부착할 수 있는 작전용 디스플레이 등에 적용하기 위해 대학, 연구소, 기업 및 군이 연구개발 협력체를 구성해 플렉시블 OLED 디스플레이 기술개발을 활발하게 추진하고 있다.
플렉시블 디스플레이를 구현하기 위해서는 유연성이 좋은 플라스틱 기판을 사용해야 하는데, 플라스틱은 내부에 미세한 공간이 있어 개스 분자들이 쉽게 스며들 수 있다. OLED 디스플레이에 습기나 산소가 소자 내부로 침투하면 OLED 소자를 구성하는 유기물질의 분해가 일어나 소자의 기능이 상실되기 때문에 디스플레이의 수명을 단축시킨다.
지금까지 우수한 개스 배리어 특성을 갖는 고유연성 기판의 부재가 플렉시블 OLED 디스플레이의 구현을 막는 중요한 요인 중 하나가 되어 왔다. 이로 인해 현재 상용화되고 있는 소형 모바일 통신기기의 OLED 디스플레이에는 유연성이 없는 유리 기판을 사용하고 있다.
또한, 개발된 나노 복합체 개스 배리어 기판 기술은 플렉시블 디스플레이 뿐만 아니라 투습도 및 투산소도에 대한 요구 조건이 덜 엄격한 식품 포장재에 바로 활용이 가능하다.
식품의 장기 저장 시 산화와 부패를 방지하기 위해서는 투산소도와 투습도가 낮은 포장재의 사용이 필수적이다. 개발된 나노 복합체 기판은 투산소도가 10-2~10-3cc/m2/day로서 현재 일반적으로 사용되고 있는 식품 포장재 투산소도의 1/10 이하이기 때문에 식품 보관 기간을 최소 5배 이상 늘릴 수 있어 식품 유통 구조에 대변혁을 가져올 수도 있다.
라면 봉지와 같은 기존의 식품 포장재는 투산소도와 투습도를 낮추기 위해 플라스틱 필름위에 알루미늄 코팅을 하는데, 인체에 해로운 알루미늄과 음식물의 직접적인 접촉을 피하기 위해 알루미늄 코팅위에 보호막 코팅을 다시 입혀야 되는 번거로운 공정을 거쳐야 한다.
그러나 나노 복합체 개스 배리어 기판 기술을 이용하면 알루미늄 코팅과 보호막 코팅이 필요 없기 때문에 생산 공정이 단순해져 생산 단가도 훨씬 저렴해 지고 친환경적인 장점이 있다.
한편, 윤 교수는 2008년부터 지경부 산업원천기술개발사업의 지원을 받아 ETRI와 공동연구과제로 연구를 수행하고 있으며, 개발된 개스 배리어 기판 기술의 특허 등록을 마치고 관련기업과 기술 이전을 협의 중이다.
<용어설명>
○ 플렉시블 디스플레이 : 기존에 유리를 기판으로 사용한 평판형 디스플레이와 달리 유연한 플라스틱 기판을 사용하여 종이와 같이 말거나 접을 수 있는 디스플레이를 말하며, 휴대하거나 착용하기 쉬워 차세대 디스플레이로 각광받고 있다.
○ 유기발광 디스플레이(OLED) : 전기를 가하였을 때 유기물질에서 발생하는 자발광을 이용한 디스플레이로서 LCD에 비해 빠른 응답 속도, 높은 발광 효율, 넓은 시야각, 얇은 두께 등 우수한 특성을 가지고 있어 꿈의 디스플레이로 불린다. 아직 대면적 화면 구현에는 기술적인 난관이 있어 현재는 주로 소형 모바일 통신기기에 상용화되어 사용되고 있다.
○ 롤투롤(Roll-to-Roll) 공정 : 공정하고자 하는 재질을 두루마리 형태로 감아 한 두루마리에서 다른 두루마리로 감아 옮기면서 연속으로 진행하는 공정을 말한다.
○ 개스 배리어(Gas Barrier): 플라스틱 기판으로 스며드는 개스의 통과를 차단 시키는 역할을 하는 방어벽.
2010.09.06
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KAIST, UAE에 교육 수출 본격화
- 교육·연구 및 인력양성 협력 위해 UAE KUSTAR에 KAIST 교수 파견 -
지난 해 우리나라가 세계 원전 강국들을 제치고 수주한 UAE 원전의 포괄적 협력사업을 위한 실질적인 서막을 KAIST가 열었다.
우리학교는 UAE KUSTAR(칼리파 과학기술연구대학)에 교수를 파견하고, UAE와의 교육·연구 협력 및 고급 연구개발 인력양성 사업에 본격적으로 착수한다.
UAE 원자력공학 분야 프로그램을 지원하기 위해 우리학교는 KUSTAR-KAIST 원자력협력센터를 설치해 실질적이고 구체적인 교육 및 연구협력 프로그램 구축 방안을 모색했다. 그 일환으로 원자력 및 양자공학과 교수 4명(이건재 교수, 성풍현 교수, 장창희 교수, 이정익 교수)을 지난 달 현지로 파견했다. 이들은 이 달부터 UAE에 1년간 거주하면서 강의와 공동연구를 수행하고 KUSTAR 원자력공학과 교육프로그램 개발을 지원하게 된다.
우리나라와 UAE간의 원전 수주 계약 당시, 양국은 원전 사업 뿐만 아니라 인력양성, 교육, 재생에너지, 정보통신기술, 조선, 반도체 등의 분야에서도 협력하기로 합의했다.
이에 따라, 고급인력 양성과 교육 인프라 개발을 위해 지난 1월 서남표 총장은 KUSTAR 아리프 술탄 알 하마디(Arif Sultan Al Hammadi) 총장을 만나 협력 방안을 논의했다. 또한, KUSTAR가 향후 선도 과학기술 연구대학이 될 수 있도록 KAIST의 연구·교육 노하우와 커리큘럼 등을 제공하기로 했다.
본격적 협력 사업 지원을 위해 우리대학은 지난 7월 KUSTAR-KAIST 교육연구원을 설치했으며, 그동안 원자력 전문가로서 양교간의 협력 사업을 총괄해왔던 장순흥 교수를 연구원장으로 임명했다. 내년부터는 원자력공학 뿐만 아니라 다른 여러 분야의 교수도 KUSTAR에 파견해 다방면으로 협력과 교류를 활성화해 나갈 계획이다.
KUSTAR-KAIST 교육연구원장 장순흥 교수는 “KUSTAR를 KAIST 수준의 연구중심대학으로 만들기 위해 필요한 모든 지원을 아끼지 않을 것”이라며 “양교간의 성공적인 교육·연구 협력 사업은 우리나라와 UAE간의 포괄적인 협력사업의 신호탄이 될 뿐만 아니라, 우리나라와 다른 중동 지역 국가들과의 협력 사업을 위한 실질적인 교두보가 되어 제2의 중동 붐 조성에 크게 기여할 것”이라고 덧붙였다.
한편, KUSTAR는 셰이크 칼리파 빈 자예드 알 나하얀(Sheikh Khalifa bin Zayed Al Nahyan) UAE 대통령이 미래 국가 발전의 원동력이 될 고급 연구개발 인력을 양성하기 위해 2007년에 설립한 연구중심 국립대학으로, UAE 정부가 집중적으로 육성하고 있다.
2010.09.02
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원광연칼럼 기술과 문화의 융합
원광연 문화과학기술대학원장이
세계일보 2010년 8월 26일(목)자 칼럼을 실었다.
제목: [사이언스 리뷰] 기술과 문화의 융합
신문: 세계일보
저자: 문화과학기술대학원장 원광연
일시: 2010년 8월 26일 (목)
기사보기: [사이언스 리뷰] 기술과 문화의 융합
2010.08.26
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진대제 전 정보통신부장관 KAIST에 1억 기부
진대제 전 정보통신부장관은 KAIST가 세계 최고 대학으로 발전하고 국가의 미래를 이끌어 갈 우수한 IT분야 인재를 양성하는데 기여하고자 지난 11일 발전기금 1억 원을 본교에 기부했다.
이 날 열린 기부금 전달식에는 진대제 전 정보통신부장관, 최병규 교학부총장, 주대준 대외부총장, 이용훈 정보과학기술대학장, 이강석 스카이레이크 인큐베스트(주) 부사장 등이 참석했다.
삼성전자 사장과 정보통신부 장관을 거친 그는 IT분야에서 세계적인 명성과 능력을 인정받아왔으며, 대학생들로부터 가장 존경하고 닮고 싶은 인물로 선정되기도 했다. 현재 벤처투자캐피털 회사인 스카이레이크 인큐베스트(주)의 대표이사로 국내 벤처창업과 육성을 위해 활발한 활동을 하고 있다.
진대제 전 정보통신부장관은 이날 기부금 약정식에서 “지금까지 우리나라가 짧은 시간에 세계경제 대국으로 발전할 수 있었던 원동력은 KAIST와 같은 대학에서 세계적인 경쟁력을 갖춘 인재를 길러냈기 때문”이라며, “앞으로 KAIST가 세계 최고의 대학으로 발전하도록 관심과 성원을 아끼지 않을 것”이라고 말했다.
KAIST는 기부금을 IT분야의 발전과 인재양성을 위해 활용할 계획이라고 밝혔다.
※사진설명
왼쪽부터 이용훈 정보과학기술대학장, 이강석 스카이레이크 인큐베스트(주) 부사장, 진대제 전 정보통신부장관, 최병규 교학부총장, 주대준 대외부총장
2010.08.24
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김상욱 교수, 저비용 대면적 나노패턴기술 개발
- ACS Nano誌 온라인판 19일자에 게재 -
나노기술의 오랜 난제가 KAIST와 삼성전자 LCD사업부에 의해 풀렸다.
우리학교 신소재공학과 김상욱 교수팀과 삼성전자 LCD사업부(사장 장원기)가 산학공동연구를 통해 분자자기조립현상(Molecular Self-assembly)과 디스플레이용 광리소그래피(Optical Lithography) 공정을 융합해 나노기술의 오랜 난제로 여겨지던 ‘저비용 대면적 나노패턴기술’ 개발에 성공했다.
최근 나노기술 분야에서는 서로 다른 종류의 고분자를 화학적으로 결합시킨 블록공중합체가 새로운 나노패턴소재로 각광받고 있다.
분자조립 과정을 통해 스스로 형성하는 초미세 나노구조를 블록공중합체에 이용하게 되면 최신 반도체공정으로도 만들기 힘든 수~수십 나노미터 크기의 미세한 점이나 선 등을 쉽고 값싸게 제조할 수 있다.
그러나 자연적으로 형성되는 블록공중합체 나노패턴은 그 배열이 불규칙하고 결함이 많아 상용화를 위한 기술적인 걸림돌로 지적되어 왔다.
블록공중합체 나노패턴을 반도체나 디스플레이에 이용하기 위해서는 임의의 대면적에서 블록공중합체 나노패턴을 원하는 형태로 잘 정렬시킬 수 있는 기술이 필수적이다.
그러나 현재까지 개발된 기술들은 방사광가속기와 같은 매우 값비싼 장비가 필요하고 임의의 넓은 면적에 적용할 수 없다는 근본적인 한계를 가지고 있었다.[그림.1] 자연적으로 형성된 무질서한 배열의 블록공중합체 나노패턴 (왼쪽)과 대면적 나노패턴공정으로 결함 없이 잘 배열된 블록공중합체 나노패턴 (오른쪽)
김 교수팀은 이번에 개발된 융합 기술을 통해 저비용 패턴공정인 디스플레이용 광리소그라피로 대면적에서 마이크로미터(1㎛=100만분의 1m) 크기의 패턴을 만든 후, 분자조립현상을 이용해 수십 나노미터(1㎚=10억분의 1m) 크기의 패턴으로 밀도를 백 배이상 증폭시킴으로써 대면적에서 잘 정렬된 나노패턴을 형성시키는데 성공했다.
[그림.2] 대면적에서 마이크로 크기의 패턴이 수십나노미터 크기의 패턴으로 패턴의 밀도를 증폭시키는 과정(위쪽)과 이를 통해 대면적에서 형성된 20 나노미터 선폭의 초미세 분자조립 나노구조(아래쪽)
이는 기존 나노패턴기술에 비해 더 단순하고 공정비용이 저렴하며, 넓은 면적에서 연속 공정이 가능해 차세대 반도체나 디스플레이 분야에 폭넓게 이용될 수 있을 것으로 기대된다.
연구책임자인 김상욱 교수는 “이번 연구결과는 분자조립 나노패턴기술을 저비용, 대면적화 함으로써 실제 나노소자공정에 이용할 수 있는 가능성을 크게 높였다는데 의미가 있다”고 말했다.
이 연구는 김 교수의 지도하에 정성준 박사가 주도적으로 진행했으며 현재 정 박사는 KAIST에서 박사과정을 마친 후, U.C. Berkely에서 박사후연구원(Post doc)으로 근무하고 있다.
한편, 이번 연구결과는 KAIST 김상욱 교수팀과 삼성전자 LCD사업부의 3년간에 걸친 공동연구의 결실로서 그간 선행연구결과들이 Nano Letters, Advanced Materials, Advanced Functional Materials지 등 저명 학술지에 발표된 바 있으며, 최종적으로 개발된 ‘저비용, 대면적 나노패턴기술’은 최근 나노기술분야의 세계적인 학술지인 ‘ACS Nano誌’ 8월 19일자 온라인 판에 소개됐다.
2010.08.23
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양지원 교수 연구단, 글로벌프론티어 연구개발사업선정
우리학교 생명화학공학과 양지원 교수가 단장으로 있는 연구단이 교육과학기술부에서 주관하는 "글로벌프론티어 연구개발사업"에 선정됐다.
이번에 선정된 연구단 및 단장은 "혁신형 의약바이오 컨버전스기술"의 김성훈 교수(서울대학교), "탄소순환형 차세대 바이오매스 생산,전환기술"의 양지원 교수(KAIST), "현실과 가상의 통합을 위한 인체감응 솔루션"의 유범재 박사(KIST)이다.
각 연구단들은 2010년도부터 향후 9년간 연간 100~300억원 규모의 연구비를 지원(2010년에는 각각 50억원 내외 지원)받아 세계 최고 수준의 기초·원천기술을 확보하기 위한 연구를 수행하게 된다.
양 교수가 연구를 하게 될 "탄소순환형 차세대 바이오매스 생산/전환기술"은 자연계 순환 전 과정에서 광합성에 의해 생성된 바이오매스로부터 사회 전반에 필요한 연료와 소재를 친환경적으로 생산하는 지속가능한 기술 개발을 목표로 한다.
또 산업시설에서 배출되는 CO2를 공장 굴뚝에서 직접 바이오매스 생산에 활용하여 이산화탄소를 산소로 전환하고, 이렇게 생성된 바이오매스를 이용하여 연료 및 소재를 생산한다.
교육과학기술부는 앞으로 최종 선정된 3개 연구단별로, 기 수행된 1,2차 평가결과를 반영하여 사업단별로 충실한 보완기획을 실시한 후 9월부터 연구에 착수할 예정이다.
한편, 글로벌프론티어 연구개발사업은 세계 최고 수준의 기초·원천연구를 수행하는 연구 거점 구축 및 원천기술 확보하여 기초,원천기술 강국으로 도약하고, 2021년까지 총 15개 연구단 을 지원, 5개 이상의 세계 최고 수준의 연구그룹 육성 및 원천기술을 확보하는 것이다.
2010.08.23
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김도현교수, 교육과학기술부장관상 수상
- 반도체 실리콘 기판에 존재하는 나노스케일 결함의 해석 및 전산모사 기술 개발 -
우리학교 생명화학공학과 김도현 교수가 "NANO KOREA 2010" 심포지엄에서 반도체 실리콘 기판내의 나노스케일 결함 해석 기술로 "나노연구혁신부문 교육과학기술부 장관상"을 수상하였다.
김도현 교수는 반도체 회로의 미세화에 따라 나노스케일 결함에 대한 중요성이 커지는 시점에 이를 예측하고 해석할 수 있는 전산모사 기술을 개발한 연구 성과를 인정받았다.
김 교수팀은 원자단위의 해석 모델을 이용하여, 반도체용 실리콘 기판 내 수nm에서 수십nm까지의 결함을 해석하는 모델을 개발하였으며, 이를 통해 실리콘 단결정 성장 공정과 반도체 Fab 공정을 연계해서 기판 내의 결함을 해석할 수 있는 전산모사를 수행함으로써 실제 결함의 생성과 성장거동을 성공적으로 예측하였다.
[그림1] 결정성장시 생성되는 산소농도 차이에 의해 발생되는 Nano-void의 분포를 나타내었으며 이를 원자 모델을 이용해서 산소농도에 따른 Nano-void 형성를 예측한 결과
[그림2] 결정성장시 발생한 결함이 반도체 Fab 공정에서 oxygen precipitate로 성장하는 과정을 전산모사를 통해 나타낸 결과
[붙임] 용어 설명
반도체 회로 미세화 : 반도체의 Design rule로 Moore"s law에 의해 반도체의 회로 밀도가 18개월 주기로 2배로 늘어나게 된다. 이러한 밀도의 증가를 위해서는 회로 선폭의 감소와 함께 이에 따른 기판의 요구품질도 지속적으로 높아지게 된다.
결정성장 : 다결정 실리콘을 단결정 실리콘으로 성장시키는 방법으로서, 본 연구는 반도체용으로 많이 사용되고 있는 CZ법 (Czochralski)에 대한 연구다.
결함의 종류 : 결함의 종류에는 void성 결함과 precipitate성 결함이 존재한다. Void 성 결함은 vacancy간의 결합을 통해 형성되며, precipitate성 결함은 주로 oxygen과의 결합으로 발생한다.
결함의 영향 : 반도체 칩을 제작하는 중에 회로 설계 영역 즉 표면에서 수 nm까지의 영역에 결함이 존재하는 경우에는 oxidation 두께의 차이가 발생하여 반도체의 불량을 초래할 수 있다.
[그림3] 반도체 수율에 미치는 Grown-in 결함의 영향
2010.08.19
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고성능 전자소자 소재 "절반-금속" 나노선 개발
-교과부 21세기 프론티어사업단 김봉수교수팀, 나노신소재 합성성공-
한 물질이 금속과 비금속의 특성을 나타내 기존 반도체 소자의 성능을 획기적으로 개선시킬 수 있는 "절반-금속 (half-metallic) 강자성 규화금속 나노선"이 개발됐다.
우리학교 화학과 김봉수 교수팀이 절반-금속성을 갖는 규화철 나노선을 최초로 합성함으로써 통하여 ‘차세대 스핀전자공학’에 필수적인 스핀 주입(spin injection) 물질을 개발했다.
스핀주입이란 외부의 전기장이나 자기장에 의해 물질 내 전자의 자기적 특성(스핀)을 조절하는 것인데, 이번에 개발된 규화철 나노선은 한 방향 스핀을 갖는 전자들에게는 전도성 금속으로 작용하고 그 반대방향 스핀을 갖는 전자에게는 절연체로 작용하여 한 가지 스핀방향만을 가지는 전류를 만들어 낼 수 있다.
이런 기능은 정보신호로 변환이 가능하기 때문에 이 나노선으로 고성능, 고집적, 저전력 특성을 가지는 전자소자를 만들면 현재 실리콘 반도체의 한계를 극복할 수 있다.
김 교수팀은 기존에 개발한 규화철(FeSi) 나노선에 산소기체를 도입한 간단한 열확산 법을 이용하여 매우 높은 큐리 온도 (Tc=840 K)에서도 강자성을 유지하고 높은 스핀편극도를 가지는 절반-금속 강자성 규화철(Fe3Si) 나노선으로 완벽하게 변환하였으며, 같은 방법으로 규화코발트(Co2Si) 나노선을 변환시켜 최초로 단결정 코발트(Co) 나노선을 합성하는 등 소재의 조성을 조절하는 합성법의 일반화에도 성공하였다.
김 교수팀이 개발한 강자성 규화철(Fe3Si) 나노선은 나노 소자 제작을 위한 빌딩 블록(building blocks)에 활용될 수 있어, 효율적이고 소형화된 초고성능 자기 메모리 및 거대 자기저항(GMR) 센서의 개발이 가능해졌다. 이에 따라 양자 메모리 처리와 고주파 전자통신 소자 등 다양한 나노 소자 개발에 기술적 전기(轉機)가 마련됐다.
한편, 이번 연구결과는 8월초 나노기술(NT) 분야의 가장 권위있는 학술지인 "나노 레터 (Nano Letters)"지 온라인판에 게재되었고, 현재 국내 특허 출원 중이다.
2010.08.19
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암 성장과 전이를 억제하는 혈관신생차단제 개발
-캔서 셀誌 표지논문 선정, “부작용 적고 효과 탁월한 신개념 항암치료제 개발 가능성 열어”-
국내 연구진이 암 성장과 전이에 필수적인 혈관신생*에 관여하는 새로운 인자를 발견하고 이를 효과적으로 차단하는 제재를 개발하여, 신개념 암 치료제 개발에 전기를 마련하였다. * 혈관신생(angiogenesis) : 몸속에 새로운 혈관이 만들어지는 현상으로, 악성 종양(암)의 성장과 전이에 매우 중요한 과정
우리학교 의과학대학원 고규영 교수와 삼성의료원 남도현 교수가 주도한 이번 연구는 교육과학기술부(장관 안병만)와 한국연구재단(이사장 박찬모)이 추진하는 중견연구자지원사업(도약연구)과 삼성의료원의 난치암정복연구사업의 지원을 받아 수행되었다.
이번 연구결과는 암 분야 최고 권위의 학술지인 ‘캔서 셀(Cancer Cell, IF=25.3)’ 표지 논문(8월 17일자)에 선정되었으며, 국내 연구진이 주도한 연구업적이 “캔서 셀”에 표지 논문으로 게재된 것은 이번이 처음이다.
고규영 교수팀은 기존의 혈관성장인자*(VEGF) 이외에 또 다른 성장인자(안지오포이에틴-2, Ang2)가 혈관신생을 촉진한다는 사실을 새롭게 발견하고, 두 인자를 효과적으로 차단하는 “이중혈관성장차단제”를 개발하는데 성공하였다. * 혈관성장인자 : 혈관신생을 촉진하는 인자로, 지금까지 VEGF가 대표적인 인자로 인식되었으나, 고 교수팀이 Ang2도 암의 혈관신생을 촉진한다는 사실을 새롭게 발견함.
지금까지 의학계에서는 VEGF가 혈관신생에 중추적인 역할을 수행하는 것으로 인식하여, 이를 억제하는 항암제인 아바스틴(Avastin)을 개발하여 암 환자들에게 투여해왔다. 그러나 항암 효과가 크지 않고 오히려 암을 촉진시키는(전체 환자 50%) 등 부작용이 적지 않아 치료에 어려움이 있었다.
고 교수팀은 VEGF 억제제를 투여하자 Ang2가 급격히 증가한다는 사실을 발견하고, VEGF과 Ang2을 동시에 차단하는 “이중혈관성장 차단제”를 제작하여 환자에게 투여한 결과, 기존의 VEGF만을 차단했던 제재보다 암 성장(2.1배)과 전이(6.5배)를 효과적으로 차단한다는 사실을 검증하였다.
고 교수는 “Ang2가 VEGF 못지않게 중요한 혈관신생인자라는 사실을 새롭게 확인하여, 두 인자를 동시에 효과적으로 차단하는 ‘이중 혈관성장차단제’ 개발에 성공함으로써, 효과는 탁월하지만 부작용은 적은 신개념 항암치료제 신약 개발에 새로운 가능성을 제시하였다”라고 연구의의를 밝혔다.
2010.08.18
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김승우교수, 정밀거리측정기술 개발
- 네이처 포토닉스誌 발표, “미래우주핵심기술 개발을 통한 우주선진국 도약 가능성 열어”-
수 백 km의 거리에서 1nm*의 차이까지 정확히 측정할 수 있는 정밀거리 측정기술이 국내 연구진에 의해 개발되었다.
* 1nm(나노미터) : 10억분의 1m
우리학교 기계공학과 김승우 교수가 주도한 이번 연구는 교육과학기술부(장관 안병만)와 한국연구재단(이사장 박찬모)이 추진하는 중견연구자지원사업 (도약연구)과 우주원천기초기술개발사업의 지원을 받아 수행되었고, 연구결과는 광학 분야 최고 권위지인 ‘네이처 포토닉스(Nature photonics)’ 온라인 속보(8월 8일자)에 게재되었다.
김 교수팀은 지금까지 장거리 측정의 한계점이던 1mm 분해능*을 1nm 분해능으로 측정할 수 있는 획기적인 정밀거리 측정기술 개발에 성공하였다.
* 분해능(分解能, resolving) : 측정기가 검출할 수 있는 가장 작은 단위의 물리량을 의미하며, 1mm 분해능은 수백 km의 거리에서 1mm의 차이를 측정할 수 있음.
특히 이 기술은 일반적으로 장거리를 측정할 때 나타나는 모호성(ambiguity)도 극복하여, 이론적으로 100만km를 모호성 없이 측정할 수 있다.
김 교수팀은 실제 700m의 거리에서 150nm의 분해능 구현에 성공하였고, 우주와 같은 진공상태에서는 1nm의 분해능 구현도 가능하다는 사실을 실험을 통해 검증하였다.
이번 연구결과로 향후 지구와 유사한 행성을 찾기 위한 편대위성군 운용* 및 위성 또는 행성 간의 거리측정을 통한 상대성 이론 검증과 같은 미래우주기술개발에 한 발 다가서게 되었다.
* 편대위성군운용(formation flying of multiple satellites) : 여러 대의 소형위성을 동시에 쏘아 올려 위성간의 거리를 측정함으로써, 지구와 유사한 행성을 찾거나 상대성이론 검증에 활용
위성 또는 행성 간의 정밀거리측정은 지구와 유사한 행성을 찾거나 상대성 이론을 검증하는 핵심기술로, 우주 선진국에서는 이 기술을 개발‧보유하기 위해 경쟁적으로 연구하고 있다.
김승우 교수는 “장거리를 1nm 분해능으로 측정할 수 있는 기술개발로, 우리나라도 편대위성군운용과 같은 미래우주핵심기술인 정밀거리측정 기술을 보유하게 되어, 명실 공히 우주 선진국으로 도약할 수 있는 기반을 마련하게 되었다”라고 연구의의를 밝혔다.
2010.08.17
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