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인물

윤성준 박사과정, 램리서치코리아 논문공모전 대상 수상​
조회수 : 12550 등록일 : 2017-01-02 작성자 : kaist_news


〈 윤성준 박사과정(우)과 서인학 램리서치 코리아 대표이사(좌) 〉


우리 대학 전기및전자공학과 윤성준 박사과정(지도교수 조병진)이 제6회 ‘램리서치 코리아(Lam Research Korea) 대학(원)생 논문공모전’에서 대상을 수상했다.

지난 12월 16일 컨벤션 벨라지움 센터에서 열린 본 시상식에서는 대상 1팀 외에 최우수상 및 우수상 등 총 4팀이 수상했다.

윤성준 박사과정은 이번 공모전에서 7 나노미터 이하급 반도체 노드에서 적용 가능한 다공성 절연물질의 표면 실링 기법 (Pore Sealing of Porous Ultra-Low-k Dielectrics by iCVD Process) 이라는 주제의 연구를 통해 수상했다.

윤 박사과정의 연구는 그동안 반도체 칩의 신호지연을 개선시키기 위한 다공성 초절연물질의 도입을 지연시킨 주된 이유인 공정상의 어려움을 해결할 수 있다는 점을 인정받았다.

향후 반도체 공정에서 다공성 초절연물질의 사용은 필수적이기에 이 연구가 반도체 기술 발전에 큰 기여를 할 것으로 평가됐다.

윤성준 씨는 “그 동안의 연구가 반도체 산업계에서 가치를 인정받아 매우 기쁘다”며 “앞으로도 꾸준한 연구를 통해 반도체 기술 발전에 기여하겠다” 고 말했다.

2011 년에 시작된 램리서치 코리아 대학(원)생 논문 공모전은 반도체 산업의 육성과 우수인재 발굴을 위해 시작됐다.

공모전을 통해 대학생들의 참신한 아이디어 발굴, 창의적인 시야와 생각을 독려하기 위해 장학금을 수여한다.

램리서치 코리아는 1980년에 설립돼 전 세계 반도체 장비 업계를 선도는 글로벌 반도체 장비 업체로 식각, 세정, 증착 장비를 주력으로 개발 및 판매하고 있다. 작년 매출액 기준 글로벌 반도체 장비 2위를 달성했다.